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二氧化硅干法刻蝕氮化硅選擇比

導讀在二氧化硅干法刻蝕氮化硅時,選擇比的理想值為1:10至1:20左右,在這個范圍內,刻蝕氮化硅的速率比較慢,但刻蝕二氧化硅的速率比較快,因此可以實現對氮化硅的高選擇性刻蝕。在二氧化硅干法刻蝕氮化硅時,選擇比是指刻蝕速率的比值,通常用來評估刻蝕過程中對不同材料的選擇性。

1/10至1/20左右。在二氧化硅干法刻蝕氮化硅時,選擇比的理想值為1:10至1:20左右,在這個范圍內,刻蝕氮化硅的速率比較慢,但刻蝕二氧化硅的速率比較快,因此可以實現對氮化硅的高選擇性刻蝕。在二氧化硅干法刻蝕氮化硅時,選擇比是指刻蝕速率的比值,通常用來評估刻蝕過程中對不同材料的選擇性。

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