根據查閱華律網，檔案專審未婚人員家屬填寫方式如下：1、首先列出被審查人及其家庭成員的基本資料，包括姓名、年齡、職業等信息。例如：“被審查人張三，男，25歲，未婚，無子女，現居住在某某市某某街道某某號。其家庭成員包括父親張四，母親李四，均在某某市某某公司工作。”2、接著針對個別家庭成員進行說明，特別是與專科專業和工作單位有關的情況。“張三的父親張四，男，50歲，本科學歷，曾在某某公司擔任XX崗位達X年，具有較為豐富的從業經驗。在工作中，他多次獲得過先進個人和優秀員工等榮譽。”3、最后，需要強調具體的利益關系，例如在受到專科專業審查的哪些方面，未婚人員的家屬是如何參與或受到影響的。例如：“據了解，張三的父親曾多次參加過某某單位的相關項目的研發，其落實的若干細節和方案都和被審查人的專業非常貼近。”