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光刻機加速器哪個好

導讀1、使用的光源是第四種,使用高能二氧化碳激光轟擊液態(tài)金屬錫激發(fā)極紫外光。2、可產(chǎn)生高功率光,無碎屑污染,可穩(wěn)定出光。

ASML的EUV光刻機。1、使用的光源是第四種,使用高能二氧化碳激光轟擊液態(tài)金屬錫激發(fā)極紫外光。2、可產(chǎn)生高功率光,無碎屑污染,可穩(wěn)定出光。

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