唐宏彬等人。光學(xué)鍍膜機(jī)是由唐宏彬、鄧有財、莊曜瑋、吳霽圃、黃文嘉、張中英等人聯(lián)合研發(fā)，其專利由泉州三安半導(dǎo)體科技有限公司申請。本實用新型公開了一種光學(xué)鍍膜機(jī)，用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的光學(xué)鍍膜，特別是用于發(fā)光二極管芯片的鍍膜工藝中，光學(xué)鍍膜機(jī)包括光控托盤，光控托盤具有第一表面和第二表面，其中第一表面一側(cè)靠近鍍料源，且具有第一光控口，第二表面一側(cè)具有光控片和第二光控口，光控片位于光控托盤第一表面與第二光控口之間，光控托盤的第二光控口與第一光控口位置對應(yīng)，第一光控口最小孔徑為第二光控口孔徑的1.25倍以上，避免光控托盤的通孔被鍍料附著導(dǎo)致測量厚度小于實際厚度，提高鍍膜的精確度。