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電子氣體中顆粒的含量

導讀電子氣體中顆粒的含量是,0.1到20μm。金屬雜質在氣體中主要以0.1~20μm懸浮顆粒或小于0.1μm的氣溶膠形式存在。只有將氣體中的顆粒通過分離進行排除,才能減少或消除金屬雜質。

電子氣體中顆粒的含量是,0.1到20μm。金屬雜質在氣體中主要以0.1~20μm懸浮顆粒或小于0.1μm的氣溶膠形式存在。只有將氣體中的顆粒通過分離進行排除,才能減少或消除金屬雜質。

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