綜合
綜合
檢查水泵：首先檢查抽水泵是否正常工作。看看泵是否有異常聲音，是否存在泄漏，泵的壓力是否正常。
檢查水路：檢查水路是否暢通，包括水管有無堵塞、折彎或損壞。還要檢查水路中的過濾器或閥門是否正常。
檢查離子水系統(tǒng)：檢查離子水的質量是否達標。如果水質不好，可能會影響真空系統(tǒng)的效率。確保離子水的電導率和純凈度符合要求。
檢查真空系統(tǒng)：檢查真空腔室是否密封良好，有無漏氣的地方。同時，檢查真空度測量儀器是否準確，以確保讀數(shù)正確。
檢查電控系統(tǒng)：如果真空鍍膜設備有電控系統(tǒng)，檢查相關的電控部分是否正常，比如傳感器、控制器等是否有異常。
常規(guī)維護：進行常規(guī)的清潔和維護工作，比如清潔過濾器，更換老化的密封圈。
