在處理自動固晶機中的多膠或少膠問題時，首先要確保粘膠的高度和點膠的高度準確無誤。這涉及到調整設備的參數，使得粘膠在晶圓上的分布既不過量也不欠缺。其次，需要仔細檢查膠盤上的膠水是否刮得均勻。膠盤是固晶機中一個關鍵部件，負責將膠水均勻地涂布在晶圓上。如果膠水刮得不平，會導致膠水分布不均，從而影響固晶的效果。針對多膠問題，可能需要調整點膠的高度，使其稍微降低，以便減少膠水的用量。同時，檢查膠盤的刮膠刀是否磨損，必要時進行更換或調整角度，確保膠水能夠均勻刮涂。對于少膠問題，則需要提高點膠的高度，確保有足夠的膠水覆蓋晶圓。同樣地，檢查膠盤的刮膠刀是否存在問題，及時進行維修或更換，以保證膠水的均勻分布。除此之外，還需要定期清潔膠盤，避免膠水干涸或殘留物影響膠水的均勻性。此外，檢查固晶機的其他部分是否正常運作，例如噴嘴是否堵塞、氣壓是否穩定等，這些因素也會影響膠水的點膠效果。通過細致的檢查和調整，可以有效地解決自動固晶機中的多膠和少膠問題，提高生產效率和產品質量。詳情