一、EDS和EDX的區別在于它們的工作原理和結構。EDS，即能量色散X射線光譜儀，利用不同元素的X射線光子特征能量差異來進行成分分析。它通過測定和計數分析點內所有元素X射線光子的能量，在短時間內獲得定性分析結果。而EDX，全稱為能量色散型X射線熒光光譜儀，是通過分析試樣發出的元素特征X射線波長和強度來進行分析的。這兩種儀器的結構完全不同，但它們都是利用X射線進行分析的儀器。二、ED-XRF是EDX的一種類型，它是指能量色散型X射線熒光光譜儀。X射線熒光光譜儀是基于偏振能量色散X熒光光譜儀（ED-XRF）的分析方法。在ED-XRF中，X射線管或放射性同位素源發出的X射線會激發樣品中的原子，從而產生X射線熒光。參考資料：- 百度百科：EDS- 百度百科：EDX- 百度百科：XRF