工業(yè)用超純水設(shè)備的多種制備工藝流程如下：1. 傳統(tǒng)離子交換樹脂工藝： - 原水首先經(jīng)過沙炭過濾器，去除大顆粒雜質(zhì)。 - 然后通過精密過濾器，進(jìn)一步凈化。 - 陽床和陰床通過離子交換作用，去除硬度離子和陰陽離子。 - 混合床（復(fù)床）進(jìn)一步吸附殘留雜質(zhì)。 - 經(jīng)過純水箱，由純水泵輸送至后置精密過濾器。 - 最后供應(yīng)到用水點(diǎn)。2. 反滲透與離子交換結(jié)合方式： - 原水先通過沙炭過濾器，軟化后再通過精密過濾器。 - 反滲透設(shè)備隨后去除大部分溶解性物質(zhì)。 - 純水箱存儲(chǔ)后，通過混床（復(fù)床）進(jìn)一步提純。 - 超純水箱儲(chǔ)存后，再經(jīng)超純水泵輸送。 - 后置精密過濾器確保水質(zhì)純凈。 - 最終供應(yīng)到用水點(diǎn)。3. 反滲透與電去離子（EDI）結(jié)合的現(xiàn)代工藝： - 原水經(jīng)過沙炭過濾器和軟水器，再通過精密過濾器。 - 反滲透設(shè)備去除大部分雜質(zhì)。 - 純水箱儲(chǔ)存后，通過電去離子（EDI）設(shè)備進(jìn)一步提升純度。 - 超純水箱存儲(chǔ)，超純水泵輸送。 - 經(jīng)過拋光混床和紫外線殺菌器確保水質(zhì)安全。 - 最后通過終端精密過濾器，純凈水直接供應(yīng)到使用點(diǎn)。以上三種工藝可根據(jù)具體需求選擇最適合的制備超純水的設(shè)備和流程。