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icp刻蝕和rie刻蝕的區別

導讀1、原理:ICP刻蝕采用了電容耦合等離子體術,在加大功率的情況下生成高能離子碰撞物質表面進行刻蝕,而RIE刻蝕則是通過射頻電磁場產生的等離子體與反應氣體進行反應刻蝕。2、反應氣體:ICP刻蝕常使用氟化物等氣體作為反應氣體,可以產生較高的刻蝕速率,而RIE刻蝕則會加入較大比例的惰性氣體,如氬氣,以稀釋反應氣體并降低電離程度,從而實現更精確的控制。

原理,反應氣體。1、原理:ICP刻蝕采用了電容耦合等離子體術,在加大功率的情況下生成高能離子碰撞物質表面進行刻蝕,而RIE刻蝕則是通過射頻電磁場產生的等離子體與反應氣體進行反應刻蝕。2、反應氣體:ICP刻蝕常使用氟化物等氣體作為反應氣體,可以產生較高的刻蝕速率,而RIE刻蝕則會加入較大比例的惰性氣體,如氬氣,以稀釋反應氣體并降低電離程度,從而實現更精確的控制。

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