電火花檢漏儀常用來檢測玻璃真空系統的漏隙，也可以用來判斷里面的真空度。它的大致原理是電火花檢漏儀的輸出頭打出的火花使玻璃真空系統里的氣體因感應而電離，不同真空度下發光的顏色是不同的，如果某一部位顏色有突變，這里很可能是有漏隙。它只適用于玻璃系統。先將系統抽成真空，用火花尖端延玻璃表面移動，沒有漏孔時，火花束在玻璃表面呈不規則的跳躍，并向四周發散，當遇到漏孔后，由于漏孔中的氣體稀薄比玻璃易導電，所以火花便集成一束，穿過漏孔進入真空系統中，形成一個亮點，這樣可以判斷漏孔純在的位置使用很簡單，一頭接地，另一頭是探頭，（探頭形式很多有碳刷型，圓圈彈簧型，平板橡膠型。。。。），儀器通過高壓探頭發出直流高壓電，當探頭經過有缺陷的涂層表面時，儀器會自動聲光報警。現行的電火花檢漏儀大多分為15Kv 和30Kv兩種，用來測量不同厚度的涂層。儀器大多自身配備可充電電池，方便在工地，車間使用。探頭種類很多，為了適用不同的工作環境和工件。儀器附帶計算表格，可以根據您的涂層的厚度計算出施壓大小，電壓過高，會擊穿涂層，電壓過低，無法檢測出針孔等缺陷的具體位置。使用該儀器探頭一定不能接觸人體，以免造成人員傷害。