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氮化硅的鈍化原理

導讀制備氮化硅抗反射膜。氮化硅的鈍化是采用等離子體將硅源物質(硅烷)和氮源物質(氮氣)以一定比例混合,并利用高溫等離子體條件催化氣體反應,使氮氣和硅烷氣體分子迅速反應,能夠在表面形成一層穩定的氮化硅抗反射膜。

制備氮化硅抗反射膜。氮化硅的鈍化是采用等離子體將硅源物質(硅烷)和氮源物質(氮氣)以一定比例混合,并利用高溫等離子體條件催化氣體反應,使氮氣和硅烷氣體分子迅速反應,能夠在表面形成一層穩定的氮化硅抗反射膜。

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