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光刻機需要加速器嗎?

導(dǎo)讀需要。光刻機是制造芯片的核心裝備,其技術(shù)變革的新路線中核心設(shè)備就是電子加速器,功率越大光刻機性能越好,而目前國內(nèi)能生產(chǎn)大功率電子加速器的只有中廣核技。

需要。光刻機是制造芯片的核心裝備,其技術(shù)變革的新路線中核心設(shè)備就是電子加速器,功率越大光刻機性能越好,而目前國內(nèi)能生產(chǎn)大功率電子加速器的只有中廣核技。

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