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鈷硅化物形成會把鈷消耗完嗎

導讀會。當CMOS技術進入65nm、45nm及更小節點以后,有源區結深越來越淺,而鈷硅化物在形成過程中需消耗較多的高摻雜硅;同時對硅化物過程中的熱預算有更具有工藝簡單、高溫穩定的特點。所以鈷硅化物形成會把鈷消耗完。

會。當CMOS技術進入65nm、45nm及更小節點以后,有源區結深越來越淺,而鈷硅化物在形成過程中需消耗較多的高摻雜硅;同時對硅化物過程中的熱預算有更具有工藝簡單、高溫穩定的特點。所以鈷硅化物形成會把鈷消耗完。

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