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半導體hcl對成膜的影響

導讀2、催化氧化反應:HCl可以催化氧化反應,如SiH4+O2→SiO2+H2O,促進膜的形成,提高了膜的質量。3、滯留效應:HCl可以影響反應氣體(如SiH4、NH3等)在半導體表面的滯留時間和分布,影響膜的成分、結構和性質。4、減少雜質:HCl可以減少氫和其他雜質對膜形成的干擾,提高了膜的純度和均勻性。

1、清洗表面:HCl可以清潔半導體表面,提高氣相和表面反應的效率,促進薄膜的成長。2、催化氧化反應:HCl可以催化氧化反應,如SiH4+O2→SiO2+H2O,促進膜的形成,提高了膜的質量。3、滯留效應:HCl可以影響反應氣體(如SiH4、NH3等)在半導體表面的滯留時間和分布,影響膜的成分、結構和性質。4、減少雜質:HCl可以減少氫和其他雜質對膜形成的干擾,提高了膜的純度和均勻性。

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