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光刻掃描路徑是什么意思

導(dǎo)讀1、光刻掃描路徑，是指利用特定波長(zhǎng)的光進(jìn)行輻照，將掩膜板上的圖形轉(zhuǎn)移到光刻膠上的過(guò)程。2、光刻掃描路徑是一個(gè)復(fù)雜的物理化學(xué)過(guò)程，具有大面積、重復(fù)性好、易操作以及成本低等特點(diǎn)。3、光刻掃描路徑是半導(dǎo)體器件與大規(guī)模集成電路制造的核心步驟。

將圖形轉(zhuǎn)移的過(guò)程、是復(fù)雜的物理化學(xué)過(guò)程、是半導(dǎo)體器件的步驟。1、光刻掃描路徑，是指利用特定波長(zhǎng)的光進(jìn)行輻照，將掩膜板上的圖形轉(zhuǎn)移到光刻膠上的過(guò)程。2、光刻掃描路徑是一個(gè)復(fù)雜的物理化學(xué)過(guò)程，具有大面積、重復(fù)性好、易操作以及成本低等特點(diǎn)。3、光刻掃描路徑是半導(dǎo)體器件與大規(guī)模集成電路制造的核心步驟。

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