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當前位置：首頁資訊尖峰退火和快速熱退火工藝的區別

尖峰退火和快速熱退火工藝的區別

導讀1、退火時間不同：尖峰退火由于溫度較高，時間較短，在幾秒到幾十秒之間，而快速熱退火時間也相對較短，在幾秒到幾十秒之間。2、應用目的不同：尖峰退火激活摻雜物，修復表面硅的單晶結構，而快速熱退火修復離子注入對單晶硅造成的損傷，激活摻雜物。

退火時間不同、應用目的不同。1、退火時間不同：尖峰退火由于溫度較高，時間較短，在幾秒到幾十秒之間，而快速熱退火時間也相對較短，在幾秒到幾十秒之間。2、應用目的不同：尖峰退火激活摻雜物，修復表面硅的單晶結構，而快速熱退火修復離子注入對單晶硅造成的損傷，激活摻雜物。

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