它們的主要區(qū)別在于電子槍的發(fā)射機(jī)制和工作溫度。1、電子槍發(fā)射機(jī)制：熱場(chǎng)sem使用的是熱發(fā)射電子槍?zhuān)涔ぷ髟硎抢酶邷厥闺娮泳哂凶銐虻哪芰咳タ朔牧系墓瘮?shù)能障而逃離。而冷場(chǎng)sem采用的是場(chǎng)發(fā)射電子槍?zhuān)涔ぷ髟硎抢脧?qiáng)電場(chǎng)從材料表面直接發(fā)射電子，而不需要將材料加熱到高溫。2、工作溫度：熱場(chǎng)sem的鎢燈絲需要加熱到約2700K的高溫，以保持穩(wěn)定的電子發(fā)射。由于高溫操作，鎢燈絲在使用過(guò)程中會(huì)揮發(fā)，因此需要定期清潔和維護(hù)。而冷場(chǎng)sem的場(chǎng)發(fā)射電子槍在工作時(shí)不需要加熱到高溫，因此材料揮發(fā)和污染問(wèn)題相對(duì)較輕，操作維護(hù)要求較低。