該系統(tǒng)工作原理主要依賴于靜電力。靜電mems振鏡是一種基于微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)制作而成的微小可驅(qū)動(dòng)反射鏡。靜電mems振鏡的工作原理主要依賴于靜電力。靜電力是電荷之間的相互作用力，當(dāng)施加在mems振鏡上的電場(chǎng)改變時(shí)，振鏡的形狀也會(huì)發(fā)生相應(yīng)的變化，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)反射光束的控制。靜電mems振鏡的驅(qū)動(dòng)方式主要有四種：電熱驅(qū)動(dòng)、靜電驅(qū)動(dòng)、電磁驅(qū)動(dòng)和壓電驅(qū)動(dòng)。其中，靜電驅(qū)動(dòng)的mems振鏡研究最早最成熟，它的驅(qū)動(dòng)電壓相對(duì)較高，偏轉(zhuǎn)角度小，掃描頻率高，適合微型投影和光通信產(chǎn)品。