FZH-2型復(fù)合真空計(jì)是一種由熱偶和電離兩部分復(fù)合而成的儀表,適用于實(shí)驗(yàn)室和鍍膜行業(yè)的生產(chǎn)車間。該儀表的主要技術(shù)數(shù)據(jù)包括:測量范圍為熱偶部分1×102~1×10-1Pa,電離部分1×10-1~1×10-5Pa;熱偶加熱電流為90~150mA,加熱電流穩(wěn)定度±1%;發(fā)射電流穩(wěn)定度±1%,電離發(fā)射電流5mA;放大器穩(wěn)定度±2%;體積及重量為119×400×230(mm),5kg;電源為220V AC 50Hz;電離部分有0~5V址流信號分檔輸出。
該儀表采用了新的線路、器件和機(jī)箱設(shè)計(jì),放大器的零點(diǎn)漂移減少到不超過±1%,重量減少了約1/3。在確保測量精度的前提下,精簡了操作機(jī)構(gòu),使用、操作及維修更為簡便。
該復(fù)合真空計(jì)的規(guī)管型號為ZJ-51+ZJ-2和FB-1,測量范圍分別為1.0×10-1~1.0×10-5Pa和320×119×280(mm)。接通電源預(yù)熱10min后,將K6置于加熱位置(見圖8),調(diào)整電流調(diào)節(jié)鈕至啟封電流值。熱偶規(guī)管開封前的真空度為133.322×10-4~133.322×10-5Pa,在連接至真空系統(tǒng)前,應(yīng)確保熱偶規(guī)管與復(fù)合真空計(jì)連接,使規(guī)管垂直向上(管座向下),接通電源開關(guān),K6置于測量位置,調(diào)整電流調(diào)節(jié)鈕至電流表滿刻度,持續(xù)3min。之后將K6置于加熱位置,從電表第三行刻度讀取加熱電流值,重復(fù)測量三次,此電流即為該熱規(guī)管工作時(shí)的電流,稱為啟封電流。最后將K6撥至測量位置,讀取壓強(qiáng)值。如有兩個(gè)熱偶規(guī)管,將開關(guān)K6置于加熱位置1或2,分別對管1或管2進(jìn)行測量。
當(dāng)體系真空度達(dá)到133.322×10-2~133.322×10-3Pa時(shí),開始用電離規(guī)測量高真空。使用電離規(guī)的方法為:將K6置于斷位置,接通電源預(yù)熱10min,K4置于發(fā)射位置,K3置于測量位置,接通規(guī)管燈絲(K2),旋發(fā)射調(diào)節(jié)旋鈕至5×10-3A(表上有紅線)。然后將K4置于零點(diǎn)位置,旋零點(diǎn)調(diào)節(jié)旋鈕使電表指零。接著將K5置于校準(zhǔn)位置,K4置于測量位置,旋校準(zhǔn)調(diào)節(jié)旋鈕使電流表指針滿刻度10處,最后將K5指向10-4、10-5處即可測量系統(tǒng)真空度。在去氣過程中,旋發(fā)射調(diào)節(jié)旋鈕至5×10-3A,K3置于“去氣”位置,K4置于零點(diǎn)位置,去氣時(shí)間約10~15min,去氣完畢后,K3置于測量位置,K5指向10-4、10-5處,測量系統(tǒng)真空度。