古義中，“至于”一詞在《戰國策·觸龍說趙太后》中使用，意為“甚至”。左師公詢問趙太后時提到：“今三世以前，至于趙之為趙，趙王之子孫侯者，其繼有在者乎？”這句話表明，即使追溯到趙國建國之初，也存在著王族后裔被封侯的情況。在《三國志·蜀志·諸葛亮傳·隆中對》中，“至于”則表示一種結果或后果。劉備未評估自身實力，試圖在天下推廣正義，卻因智謀淺薄，導致失敗，最終走到今天這種境地。在《六國論》中，“至于”意為由于上文所述情況，引出下文的結果。文章提到：“至于顛覆，理固宜然”，意指六國最終滅亡是理所當然的結局。而今義中，“至于”則有三種含義。首先，作為副詞，它可以表示達到某種程度，例如：“試題很簡單，你不至于不及格吧？”其次，作為連詞，它可以連接前后兩個句子，引出另一種情況，如：“文章寫得很通暢，至于生動，是進一步的要求。”最后，“至于”也可以表示到達某個地方，例如：“屈原至于江濱，被發行吟澤畔。”