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LED芯片生產用的PECVD,其載片盤是什么材質的,反應時是否會旋轉?

導讀載片盤鋁材質的,反應時是不會旋轉的。旋轉的那是MOCVD的托盤,一般為。石墨;的。

PECVD載片盤鋁材質的,反應時是不會旋轉的。旋轉的那是MOCVD的托盤,一般為石墨的。

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