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cmp工藝也是在黃光下進行嗎

導讀不是。CMP工藝是一種通過機械拋光和化學反應相結合的工藝,用于平整化和修飾微電子器件表面,在CMP過程中,使用的是專門設計的拋光機器和磨料溶液,不涉及光刻和曝光步驟,與黃光工藝不同,不在黃光下進行。

不是。CMP工藝是一種通過機械拋光和化學反應相結合的工藝,用于平整化和修飾微電子器件表面,在CMP過程中,使用的是專門設計的拋光機器和磨料溶液,不涉及光刻和曝光步驟,與黃光工藝不同,不在黃光下進行。

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