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蝕刻補償計算公式

導讀蝕刻補償是在光刻工藝中，為了解決線寬偏差問題而采取的一種補償措施。在光刻工藝中，光刻膠的線寬是關鍵參數之一，而線寬的偏差會直接影響到器件的性能和可靠性。因此，為了提高線寬的精度和一致性，蝕刻線寬補償技術應運而生。

該計算公式：補償量等于（蝕刻時間/蝕刻速率）乘（原模板線寬減目標線寬）乘2。蝕刻補償是在光刻工藝中，為了解決線寬偏差問題而采取的一種補償措施。在光刻工藝中，光刻膠的線寬是關鍵參數之一，而線寬的偏差會直接影響到器件的性能和可靠性。因此，為了提高線寬的精度和一致性，蝕刻線寬補償技術應運而生。

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