它最容易延110晶面裂開原因與其晶體結(jié)構(gòu)有關(guān)。硅晶體具有金剛石結(jié)構(gòu)，每個(gè)硅原子與周圍四個(gè)硅原子形成共價(jià)鍵，構(gòu)成一個(gè)穩(wěn)定的四面體結(jié)構(gòu)，在硅片制備過(guò)程中，通常采用熔融硅或氣相沉積等方法生長(zhǎng)硅晶體，在生長(zhǎng)過(guò)程中，硅原子會(huì)按照一定的規(guī)律排列，形成不同的晶面，其中，110晶面是硅晶體中一個(gè)重要的晶面，其原子密度較低，能量較高，因此容易發(fā)生裂開。
綜合
