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電容式傳感器靈敏度最高的是

導讀極距變化型。電容式傳感器中,極距變化型的靈敏度最高。這是因為極距變化型的靈敏度與極距的平方成反比,在微距測量時具有極高的靈敏度。此外,極距變化型傳感器在微位移測量中應用最廣,因為其動態特性好,靈敏度和精度較高(精度可達納米級),除微小線位移外,還可測量由于力、壓力、振動等引起的極距變化。

極距變化型。電容式傳感器中,極距變化型的靈敏度最高。這是因為極距變化型的靈敏度與極距的平方成反比,在微距測量時具有極高的靈敏度。此外,極距變化型傳感器在微位移測量中應用最廣,因為其動態特性好,靈敏度和精度較高(精度可達納米級),除微小線位移外,還可測量由于力、壓力、振動等引起的極距變化。

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