電子顯微鏡的理論分辨率因其類型和操作條件的不同而有所差異，但通常遠高于光學顯微鏡。一般來說，電子顯微鏡的理論分辨率可以達到亞納米級別，即0.1納米或更高。電子顯微鏡使用電子束而非可見光來成像，這是其高分辨率的關鍵。電子的波長比可見光短得多，根據波粒二象性原理，高速電子的波長可達0.0053至0.0037納米。由于顯微鏡的分辨率受其使用的波長的限制，因此電子顯微鏡能夠提供比光學顯微鏡更精細的圖像。在電子顯微鏡中，透射電子顯微鏡和掃描電子顯微鏡是兩種常見類型。透射電子顯微鏡通過將電子束穿透樣品并用電子透鏡成像放大來獲得樣本的內部結構信息。其分辨率主要受電子束波長和樣品厚度的影響。而掃描電子顯微鏡則是通過聚焦電子束掃描樣品表面并檢測激發出的次級電子來成像，其分辨率主要取決于電子束在樣品表面上的直徑。總之，電子顯微鏡的理論分辨率遠高于光學顯微鏡，能夠達到亞納米級別。這使得電子顯微鏡成為研究微觀世界、觀察納米材料和結構的重要工具。通過不同類型的電子顯微鏡，科學家們能夠獲取樣品內部或表面的詳細信息，從而推動各領域的科學研究和技術進步。